壓阻傳感器的基本原理是將測量的電量轉(zhuǎn)化為電阻值,然后通過轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)化為電量輸出。各種電阻傳感器主要包括壓敏傳感器、熱敏傳感器、光敏傳感器和濕敏傳感器。
壓力傳感器可以測量力、壓力、位移、應(yīng)變、加速度和溫度。電阻傳感器結(jié)構(gòu)簡單,性能穩(wěn)定,靈敏度高,有的還可用于動態(tài)測量。
以典型的固態(tài)壓阻壓力傳感器為例,當(dāng)硅單晶材料受到外力作用時(shí),其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級狀態(tài)會發(fā)生變化,導(dǎo)致其電阻率的劇烈變化。這種材料制成的電阻也發(fā)生了很大的變化,稱為壓阻效應(yīng)。利用壓阻效應(yīng)原理,采用綜合工藝技術(shù),沿單晶硅片特性晶體方向,形成應(yīng)變電阻,形成惠斯登橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,形成集力敏感和力轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴(kuò)散硅傳感器。將放大電路及相關(guān)外圍部件與傳感器匹配,輸出標(biāo)準(zhǔn)信號,形成完整的變送器。
硅壓阻力傳感器一般對溫度敏感,但隨著集成技術(shù)的進(jìn)步,擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性進(jìn)一步提高,在新一代傳感器中,原手工補(bǔ)償被激光阻力、計(jì)算機(jī)自動修復(fù)技術(shù)取代,傳感器溫度系數(shù)很小,工作溫度范圍也大大提高。
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